量化历史研究杂志投稿格式

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niuyingc

对历史事实背后的因果关系,从统计意义上进行严谨的逻辑推论,做排他性实证论证。  之前对历史的探究要么过于意识形态化,要么又过于侧重朝代史、政治史,就如电视古装戏几乎走不出宫廷斗争的话题;还有就是过于定性,停留在史料整理和描述性层面,即使对历史事实背后的因果关系下结论,也只是猜测性的,很少从统计意义上进行严谨的逻辑推论,做排他性实证论证。  单纯定性研究方法的不足是明显的。  历史研究中一手史料整理、描述性工作极其重要,但那是整个研究过程中的第一步,不是全部。研究的最终目的还是希望从历史经历中领悟到、学到一般性的道理,学到对现时和未来人类社会都有价值的规律知识。史料海洋给我们提供的是人类经历的数据资料,这些资料是我们证明证伪社会科学各领域的理论结论的基础数据。关于历史的任何一项假设都可以、也都应该放到史料数据中去检验,否则就只能是一种猜想或假设。

Dream_鬼鬼

之前对历史的探究要么过于意识形态化,要么又过于侧重朝代史、政治史,就如电视古装戏几乎走不出宫廷斗争的话题;还有就是过于定性,停留在史料整理和描述性层面,即使对历史事实背后的因果关系下结论,也只是猜测性的,很少从统计意义上进行严谨的逻辑推论,做排他性实证论证。单纯定性研究方法的不足是明显的。最经典的例子之一是晚清于1906-1907年启动预备立宪改革,由于在时间上正好是清政府垮台之前的五年左右,所以,尽管严谨研究会告诉我们是清政府启动宪政改革太晚而难以挽救其命运,但还是有不少人愿意下“宪政导致政权灭亡”这样的因果结论,就好像是看到阿炳是瞎子,就下结论“如果想拉好二胡,就先要把眼睛弄瞎”。而科学严谨的量化研究则是把历史上进行过立宪改革的各个国家放在一起,列出各国宪政改革的长期结果,构成大样本,然后系统检验是否真的是“宪政导致政权灭亡”。历史研究中一手史料整理、描述性工作极其重要,但那是整个研究过程中的第一步,不是全部。研究的最终目的还是希望从历史经历中领悟到、学到一般性的道理,学到对现时和未来人类社会都有价值的规律知识。史料海洋给我们提供的是人类经历的数据资料,这些资料是我们证明证伪社会科学各领域的理论结论的基础数据。关于历史的任何一项假设都可以、也都应该放到史料数据中去检验,否则就只能是一种猜想或假设。下面我从四方面介绍第一次量化历史讲习班讲授的内容,考虑到篇幅,不能介绍每位学者的研究,但希望以下四方面能让我们对量化历史研究的特点有所了解,特别是最近二十余年量化历史研究的成果如何启发影响了学界的视角。“人类历史中其实只发生了一件事”讲习班的第一天由 Gregory Clark 教授开授。Clark教授出生于苏格兰,在剑桥大学上大学,哈佛大学读博士,之后先在斯坦福大学任教,接着在加州大学任教授。他的研究领域包括世界经济史和社会史。他讲授的第一个主题就是:“人类历史中其实只发生了一件事,即1800年前后开始的工业革命。只有工业革命之前的世界和工业革命之后的世界之分,人类其他的历史细节有意思,但不关键。”为什么呢?从大的方面看,世界人均GDP在1800年前的两三千年里基本没有变化,工业革命之后才逐渐上升。微观方面,工业革命之后人类生活方式、社会结构、政治形态以及文化内涵都有本质性的大变革。按照史学家麦迪森的估算,公元元年时世界人均GDP大约为445美元(按1990年美元算),到1820年上升到667美元,1800多年里只增长了50%。同期,西欧国家稍微好一些,但也只是从公元元年的450美元增长到1820年时的1204美元,英国作为工业革命的发源国也大致如此。而从1820年到2001年的180年里,世界人均GDP从原来的667美元增长到6049美元。由此足见,工业革命带来的收入增长的确是翻天覆地的。工业革命之前的人类既然没有实现财富增长,那他们都在忙些什么呢?那个时期,不管是东方还是西方,不也在经历各时期的改朝换代吗?Clark教授认为,“其实用不着被那些表面的东西所误导”,在工业革命之前,人类社会一直没有走出“马尔萨斯模式”,即在生产率不变的情况下,自然灾害或战争导致人口死亡,使接下来的人均收入增加,为生育率上升、人口增长提供条件;可是人口增长后,人均土地和人均收入会减少,使生存挑战越来越大,导致战争的发生并使接下来的人口又减少,在这个周期中循环。过去多年里,Clark教授尝试从不同角度研究工业革命之前与之后社会的差别,也以此分析工业革命为什么首先在英国而不是在别处发生。在英国,大约从14世纪开始,任何已故人的遗嘱首先要在郡法院登记并检验后才能生效,这些遗嘱材料包括已故人的年龄、子女及其他亲属、职业、各类财产、收入、教育、社会地位等情况。英国各郡基本把自14世纪以来的遗嘱材料完整保留至今,成为Clark教授以及其他众多学者的研究基础。Clark教授通过对英国人遗嘱研究发现,在工业革命之前,英国人的生育率跟财富水平高度正相关:越有钱的夫妻,小孩数量越众。在16世纪期间,最富的三分之一英国人死时平均还有4至6个小孩健在,中等财富的英国人离世时平均有5到5个小孩健在,而最穷的三分之一英国人离世时只有不到3个小孩活着。到18世纪末,基本情况仍然是越富有的家庭小孩数越多,只是每家的小孩数量都降到4个以下,并且各财富阶层间的小孩数量差距明显缩小。工业革命于18世纪末到来之后,一直到1880年左右,小孩数量就基本跟财富水平没有关系了。而从1880年到1980年的100年间,情况正好反过来:越穷的英国人,小孩数量反而越多,完全改变了工业革命之前“适者生存”、“有钱者生存”的规律。也就是说,Clark教授从生育率跟财富的关系、从小孩生存概率跟家庭财富的关系这些微观指标,证明了一直到工业革命之前的18世纪,英国社会也没走出马尔萨斯式陷阱,还是在“适者生存”、“有钱者生存”的原始状态循环。只有到工业革命后,人类社会才开始走出马尔萨斯式陷阱,社会结构也开始改变。穷者还是追求小孩数量,而富者更注重小孩的质量和自己的生活品质。他发现工业革命之后,虽然穷人的小孩数更多,但富人的平均寿命更长,这可能是后者更侧重生活质量的结果。Clark 教授的研究结果对中国的历史研究也很有启发。按照麦迪森的估算,公元元年时中国的人均GDP为450美元(跟西欧一样),到洋务运动的起点时也仅为530美元。在人们的基本生活水平几千年没变化的情况下,那些制度与文化体系是经历了几千年的检验,还是只经历了几年、一两个朝代的考验,不存在本质性差别。从这个意义上讲,在收入与生活方式处于静态不变的状况下,那些朝代到底叫“汉朝”、“隋朝”、“唐朝”、“宋朝”,还是“元朝”、“明朝”或“清朝”,这些细节意义不是那么大,至少没有原来我们强调的那么大。按照这一道理,或许除了以日、月和地球的转动定义的日月年这样的时间单位之外,还应该以世界人均GDP(或者国家人均GDP)的翻倍来定义时间,世界人均GDP每翻一倍算一个时间单位,可以叫“一翻”。从公元元年到1820年世界人均GDP增长5倍,那1820年在收入增长意义上实际只过了“半翻”时间,而1820年后的100多年实际过了“八翻”时间。收入翻倍数越多,对社会结构、对制度的压力考验就越厉害,引发的变革要求就越强。用这种方式看,中国只有两段历史:鸦片战争之前的中国和1860年代洋务运动之后的中国。鸦片战争敲开了国门,洋务运动具体把工业革命请进了中国,由此真正把引发社会变革的工业技术和相配思维方式带入中国,让中国有机会走出困扰社会几千年的马尔萨斯式陷阱,结束过去重复的静态朝代更替周期。从这个角度把握中国历史,不仅帮助我们理解今天是怎么来的,也更能帮助我们判断中国将往哪里去。

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之前对历史的探究要么过于意识形态化,要么又过于侧重朝代史、政治史,就如电视古装戏几乎走不出宫廷斗争的话题;还有就是过于定性,停留在史料整理和描述性层面,即使对历史事实背后的因果关系下结论,也只是猜测性的,很少从统计意义上进行严谨的逻辑推论,做排他性实证论证。   单纯定性研究方法的不足是明显的。最经典的例子之一是晚清于1906-1907年启动预备立宪改革,由于在时间上正好是清政府垮台之前的五年左右,所以,尽管严谨研究会告诉我们是清政府启动宪政改革太晚而难以挽救其命运,但还是有不少人愿意下“宪政导致政权灭亡”这样的因果结论,就好像是看到阿炳是瞎子,就下结论“如果想拉好二胡,就先要把眼睛弄瞎”。而科学严谨的量化研究则是把历史上进行过立宪改革的各个国家放在一起,列出各国宪政改革的长期结果,构成大样本,然后系统检验是否真的是“宪政导致政权灭亡”。   历史研究中一手史料整理、描述性工作极其重要,但那是整个研究过程中的第一步,不是全部。研究的最终目的还是希望从历史经历中领悟到、学到一般性的道理,学到对现时和未来人类社会都有价值的规律知识。史料海洋给我们提供的是人类经历的数据资料,这些资料是我们证明证伪社会科学各领域的理论结论的基础数据。关于历史的任何一项假设都可以、也都应该放到史料数据中去检验,否则就只能是一种猜想或假设。   下面我从四方面介绍第一次量化历史讲习班讲授的内容,考虑到篇幅,不能介绍每位学者的研究,但希望以下四方面能让我们对量化历史研究的特点有所了解,特别是最近二十余年量化历史研究的成果如何启发影响了学界的视角。   “人类历史中其实只发生了一件事”   讲习班的第一天由 Gregory Clark 教授开授。Clark教授出生于苏格兰,在剑桥大学上大学,哈佛大学读博士,之后先在斯坦福大学任教,接着在加州大学任教授。他的研究领域包括世界经济史和社会史。他讲授的第一个主题就是:“人类历史中其实只发生了一件事,即1800年前后开始的工业革命。只有工业革命之前的世界和工业革命之后的世界之分,人类其他的历史细节有意思,但不关键。”为什么呢?从大的方面看,世界人均GDP在1800年前的两三千年里基本没有变化,工业革命之后才逐渐上升。微观方面,工业革命之后人类生活方式、社会结构、政治形态以及文化内涵都有本质性的大变革。   按照史学家麦迪森的估算,公元元年时世界人均GDP大约为445美元(按1990年美元算),到1820年上升到667美元,1800多年里只增长了50%。同期,西欧国家稍微好一些,但也只是从公元元年的450美元增长到1820年时的1204美元,英国作为工业革命的发源国也大致如此。而从1820年到2001年的180年里,世界人均GDP从原来的667美元增长到6049美元。由此足见,工业革命带来的收入增长的确是翻天覆地的。   工业革命之前的人类既然没有实现财富增长,那他们都在忙些什么呢?那个时期,不管是东方还是西方,不也在经历各时期的改朝换代吗?Clark教授认为,“其实用不着被那些表面的东西所误导”,在工业革命之前,人类社会一直没有走出“马尔萨斯模式”,即在生产率不变的情况下,自然灾害或战争导致人口死亡,使接下来的人均收入增加,为生育率上升、人口增长提供条件;可是人口增长后,人均土地和人均收入会减少,使生存挑战越来越大,导致战争的发生并使接下来的人口又减少,在这个周期中循环。   过去多年里,Clark教授尝试从不同角度研究工业革命之前与之后社会的差别,也以此分析工业革命为什么首先在英国而不是在别处发生。   在英国,大约从14世纪开始,任何已故人的遗嘱首先要在郡法院登记并检验后才能生效,这些遗嘱材料包括已故人的年龄、子女及其他亲属、职业、各类财产、收入、教育、社会地位等情况。英国各郡基本把自14世纪以来的遗嘱材料完整保留至今,成为Clark教授以及其他众多学者的研究基础。   Clark教授通过对英国人遗嘱研究发现,在工业革命之前,英国人的生育率跟财富水平高度正相关:越有钱的夫妻,小孩数量越众。在16世纪期间,最富的三分之一英国人死时平均还有4至6个小孩健在,中等财富的英国人离世时平均有5到5个小孩健在,而最穷的三分之一英国人离世时只有不到3个小孩活着。到18世纪末,基本情况仍然是越富有的家庭小孩数越多,只是每家的小孩数量都降到4个以下,并且各财富阶层间的小孩数量差距明显缩小。   工业革命于18世纪末到来之后,一直到1880年左右,小孩数量就基本跟财富水平没有关系了。而从1880年到1980年的100年间,情况正好反过来:越穷的英国人,小孩数量反而越多,完全改变了工业革命之前“适者生存”、“有钱者生存”的规律。   也就是说,Clark教授从生育率跟财富的关系、从小孩生存概率跟家庭财富的关系这些微观指标,证明了一直到工业革命之前的18世纪,英国社会也没走出马尔萨斯式陷阱,还是在“适者生存”、“有钱者生存”的原始状态循环。只有到工业革命后,人类社会才开始走出马尔萨斯式陷阱,社会结构也开始改变。穷者还是追求小孩数量,而富者更注重小孩的质量和自己的生活品质。他发现工业革命之后,虽然穷人的小孩数更多,但富人的平均寿命更长,这可能是后者更侧重生活质量的结果。   Clark教授的研究结果对中国的历史研究也很有启发。按照麦迪森的估算,公元元年时中国的人均GDP为450美元(跟西欧一样),到洋务运动的起点时也仅为530美元。在人们的基本生活水平几千年没变化的情况下,那些制度与文化体系是经历了几千年的检验,还是只经历了几年、一两个朝代的考验,不存在本质性差别。从这个意义上讲,在收入与生活方式处于静态不变的状况下,那些朝代到底叫“汉朝”、“隋朝”、“唐朝”、“宋朝”,还是“元朝”、“明朝”或“清朝”,这些细节意义不是那么大,至少没有原来我们强调的那么大。   按照这一道理,或许除了以日、月和地球的转动定义的日月年这样的时间单位之外,还应该以世界人均GDP(或者国家人均GDP)的翻倍来定义时间,世界人均GDP每翻一倍算一个时间单位,可以叫“一翻”。从公元元年到1820年世界人均GDP增长5倍,那1820年在收入增长意义上实际只过了“半翻”时间,而1820年后的100多年实际过了“八翻”时间。收入翻倍数越多,对社会结构、对制度的压力考验就越厉害,引发的变革要求就越强。   用这种方式看,中国只有两段历史:鸦片战争之前的中国和1860年代洋务运动之后的中国。鸦片战争敲开了国门,洋务运动具体把工业革命请进了中国,由此真正把引发社会变革的工业技术和相配思维方式带入中国,让中国有机会走出困扰社会几千年的马尔萨斯式陷阱,结束过去重复的静态朝代更替周期。从这个角度把握中国历史,不仅帮助我们理解今天是怎么来的,也更能帮助我们判断中国将往哪里去。   是姓氏固化了社会阶层吗?   姓氏是一个人的血缘背景关系的标志和符号。当社会普遍根据姓氏判断血统出身时,姓氏就成了家庭血统、出身背景信息的载体,各社会阶层之间也最终因此而难以流动。人类最初是没有姓氏的,因此也没有将人们分门别类的明显符号,社会阶层也不容易一目了然地区分。   中国属于最早推出姓氏的国家之一。在周朝以前,贵族除了有姓之外,还往往以国、官位为氏。而一般人只有名,没有姓,也没有氏。春秋战国时期,姓氏制度发生根本变革,姓、氏的差异渐渐模糊。战国以后,平民也有姓,百姓遂成为民众的通称。秦汉以后,姓与氏合一,遂称“姓氏”。唐宋后中国姓氏学逐步定型。   英国原来也只有名,到13、14世纪才出现姓氏,一开始也是只有贵族才有,后来逐步扩散至一般平民。到1400年,大多数的英格兰、苏格兰人都有了姓氏,但还是有部分人到17世纪,甚至更晚才有姓氏。英王亨利八世(1491年-1547年)曾经下令:“婚生子女必须登录父亲的姓氏”。英语姓氏的形成规则大致有以下六种: 按职业:例如,Smith(金属工匠)、Baker(面包师)、Archer(弓箭手); 按个人特征:例如,Short(矮个)、Brown(棕色,肤色较黑)、Whitehead(白头,头发较白); 按居家环境地理特征:例如,Hill(住山上)、Riverside(住河边); 按地名:例如,London(伦敦)、Oxford(牛津)、Sheffield(谢菲尔德); 从朋友、自己居住或拥有物业的名称得来; 按父名或父系祖先之名而衍生、或由族群名产生:例如,按父名或父系祖先有Richardson (Richard的儿子),按族群名有Macdonald、Forbes等。德国、法国、丹麦等西方社会,印度、日本等亚洲社会的姓氏规则也大致如此,姓氏的目的很明确,就是记录下血缘和出身背景信息。   中国人命名的规则是姓氏不区分个体而以名区分彼此,西方社会则反之。在中国,王姓、陈姓等不含有太多信息,但名可以区分不同人;而在英国、美国,名为Peter、David、Ed-ward的人太多,而姓氏则往往更加独特。在中国,超过100人的姓氏只有4000多个,而美国超过100人的姓氏则多达20余万。因此,相对而言,姓氏在美国等西方社会所包含的血缘与出身背景信息比在中国更多,更能阻碍社会阶层的流动。   Clark教授在讲座中介绍,以往关于社会阶层流动性研究只停留在父子代际传承的层面,而不是基于整个家族是否“一人当道,鸡犬升天”。但是,如果是以姓氏作为代际研究的基础,则可以把这种情况包括进来。   他具体讲到两方面的研究。其一,如果只按照父子收入的相关系数来研究代际地位固化程度,那么,根据英国自14世纪以来的遗嘱档案中记录的家庭收入估算,家族地位固化程度只有4,亦即父子收入的相关系数只有40%;如果用同一姓氏的相连两代英国家族的平均收入计算代际相关系数,那么英国人代际相关性高达75%,说明英国社会阶层固化的程度远高于以前的估算。而且,如果把过去七个世纪分成不同时间段,英国社会财富阶层的连贯性基本没有变化,富有的姓氏有70%-80%的可能性一代后继续富有,有50%左右的概率在两代后仍然富有。对中国、美国、日本、瑞典、印度、智利等国家而言,基于姓氏估算出的社会流动性也都远低于基于父子收入的相关性。各社会的阶层固化程度比我们原来理解的高很多,其背后的制度、文化以及其他原因都值得深入研究。   其二,Clark教授把1200年到2012年英国剑桥大学、牛津大学历年学生名册放在一起,研究各罕见姓氏的学生占比相对于这些罕见贵族姓氏占整个英国人口比及变化。结果他发现,罕见姓氏占牛津剑桥大学学生的比重100多年前是这些姓氏占整个英国人口的8倍,到现在,这些姓氏的牛津剑桥学生占比还是他们在整个英国人口占比的两倍。自13世纪以来,精英姓氏子女一直比一般姓氏更能进牛津剑桥等贵族大学,今天仍然如此。如果用政治精英取代贵族大学的就学机会,那么,在英国,政治精英阶层自13世纪以来则更加固化,“官二代”有91%的可能性继续为政治精英。   Clark 教授把姓氏研究方法应用到了中国。具体而言,他们以长江下游的县为基本单位,如果某姓氏在1645至1905年间考上举人的人数占本县总举人人数之比高于本姓氏占本县总人口比的5倍以上,那么该姓氏就为本地区的精英姓氏;一旦各精英姓氏确定之后,再计算每十年里这些精英姓氏的举人占比相对于他们占样本范围总人口的比值,看前者高于后者多少倍。结果发现,在清朝初期,精英姓氏的举人占比是其在总人口中的占比的8倍多,到乾隆末期还停留在4倍左右,到民国时期下降到2倍左右,最近降到5倍(对民国时期和1949年后,他们以考进北大、清华等大学代替举人来定义精英)。由此可见,一宗族姓氏一旦进入精英阶层,社会阶层可以跨越朝代、跨越体制地固化下去。

张梦杨超

本科毕业设计(论文)  文献综述  院 (系):  专 业:  班 级:  学生姓名: 学 号:  年 月 日  本科生毕业设计(论文)文献综述评价表  毕业设计(论文)题目  综述名称 注意综述名称(综述内容中不要出现本课题怎么样等等)  评阅教师姓名 职称  评 价 项 目 优 良 合格 不合格  综述结构 01 文献综述结构完整、符合格式规范  综述内容 02 能准确如实地阐述参考文献作者的论点和实验结果  03 文字通顺、精练、可读性和实用性强  04 反映题目所在知识领域内的新动态、新趋势、新水平、新原理、新技术等  参考文献 05 中、英文参考文献的类型和数量符合规定要求,格式符合规范  06 围绕所选毕业设计(论文)题目搜集文献  成绩  综合评语:  评阅教师(签字):  年 月 日  文献综述: 小四号宋  空一行  标题 二号黑居中  空一行  1 XXX 三号黑  XXX 小四号宋,行距20磅  1 XXXX 小三号黑  XXX 小四号宋,行距20磅  1 XXX 四号黑  XXX 小四号宋,行距20磅  空一行  2 XXXX 三号黑  (空1行)  参 考 文 献  (空1行)  [要求按国标GB 7714—87《文后参考文献著录规则》书写,例如:]  [1] 袁庆龙,候文义.Ni-P合金镀层组织形貌及显微硬度研究[J].太原理工大学学报,2001,32(1):51-53 .(宋体五号,行距固定值20磅)  [2] 刘国钧,王连成.图书馆史研究[M].北京:高等教育出版社,1979:15-18,31.  下面的是我的文献综述  文献综述:  FTO透明导电薄膜的溅射法制备  1 前言  为了更好的开展毕业论文及毕业实验工作,在查找和阅读与《DSSC用FTO透明导电玻璃的溅射法制备》相关的文献和资料,完成撰写了本文献综述。随着科技的日趋成熟,导电玻璃的制备方法也越来越成熟,种类也衍生得越来越多。  本文章将对国内外的制备方法,种类,发展现状及趋势,工艺性能,退火处理对性能的影响等方面做一简要介绍。  2透明导电玻璃的种类及制备方法简介  1透明导电玻璃的种类  1 1 TCO导电玻璃  TCO(Transparent Conductive Oxide)玻璃,即透明导电氧化物镀膜玻璃,是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜而形成的组件主要包括铟、锡、锌、铬的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。  2 ITO透明导电玻璃  ITO透明导电玻璃全称为氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。 ITO玻璃产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。  3FTO透明导电玻璃  FTO透明导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F),简称为FTO。FTO玻璃可以做为ITO导电玻璃的替换用品,广泛用于液晶显示屏,光催化,薄膜太阳能电池基底等方面,市场需求极大 FTO玻璃因其特殊性,在染料敏化太阳能电池,电致变色和光催化方面对其透光率和导电率都有很高的要求,其综合性能常用直属FTC来评价:FTC=T10/RS。T是薄膜的透光率,RS是薄膜的方阻值;在光学应用方面,则要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是:①表面方阻低,②透光率高,③面积大、重量轻,④易加工、耐冲击。  2FTO透明导电玻璃制备方法  FTO透明导电玻璃的制备方法有,物理方法:溅射法、真空蒸发镀膜法、离子辅助沉积镀膜法等;化学方法:喷雾热解法、溶胶-凝胶法和化学气相沉积法等。目前适合批量生产且研发较多的有真空蒸发镀膜法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解等方法![1]化学气相沉积法和真空镀膜法制备的薄膜和玻璃基板的结合强度不够,溶胶-凝胶法制备的导电薄膜电阻较高。适合于批量生产且已经形成产业的工艺,只有磁控溅射法和溶胶-凝胶法。特别是,溅射法由于具有良好的可控性和易于获得大面积均匀的薄膜。  1磁控溅射法镀膜:  溅射镀膜(sputtering deposition)是指用离子轰击靶材表面,使靶材的原子被轰击出来,溅射产生的原子沉积在基体表面形成薄膜。溅射镀膜有二级、三级或四级溅射、磁控溅射、射频溅射、偏压溅射、反应溅射、离子束溅射等装置。  目前最常用的制备CoPt 磁性薄膜的方法是磁控溅射法。磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气,在阴极(柱状靶或平面靶)和阳极(镀膜室壁) 之间施加几百K 直流电压,在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电,使氩气发生电离。氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面,将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。通过更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间,便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。磁控溅射法具有镀膜层与基材的结合力强、镀膜层致密、均匀等优点。  2真空蒸发镀膜:  真空蒸发镀膜(vacuum vapor deposition)是在工作压强低于10-2 Pa,用蒸发器加热物质使之汽化蒸发到基片,并在基片上沉积形成固态薄膜的一种工艺方法。真空蒸发的加热方式主要有电阻加热蒸发、电子束加热蒸发、高频加热蒸发和激光加热蒸发等。对于镀制透明导电氧化物薄膜而言,其真空蒸发镀膜工艺一般有三种途径:(1)直接蒸发氧化物;(2)采用反应蒸发镀,即在蒸发金属的同时通入氧气进行化学反应生成金属氧化物;(3)对蒸发金属镀膜进行氧化处理。  3溶胶-凝胶法:  溶胶-凝胶法(so1-gel)是近年来发展起来的能代替高温固相合成反应制备陶瓷、玻璃和许多固体薄膜材料的一种新方法。它将金属醇盐或无机盐经溶液、溶胶、凝胶而周化,再将凝胶低温处理变为氧化物的方法,是应用胶体化学原理制各无机材料的一种湿化学方法。溶胶-凝胶工艺是一种制备多元氧化物薄膜的常用方法。按工艺可分为浸涂法和旋涂法。浸涂法是将衬底浸人含有金属离子的前驱体溶液中,以均匀速度将其提拉出来,在含有水分的空气中发生水解和聚合反应,最后通过热处理形成所需薄膜;而旋涂法则是通过将前体溶液滴在衬底后旋转衬底获得湿膜。  4化学气相沉积法:  化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应,生成固态薄膜沉积在加热的固态衬底表面,是一种重要的薄膜制各方法。CVD法所选的反应体系必须满足:(1)在沉积温度下,反应物必须有足够的蒸汽压;(2)化学反应产物除了所需的沉积物为固态外,其余必须为气态;(3)沉积物的蒸汽压应足够低,以保证能较好地吸附在具有一定温度的基体上,但此法因必须制各具有高蒸发速率的铟锡前驱物而使生产成本较高。影响化学气相沉积薄膜的工艺参数很多,包括基体温度、气压、工作气体流量和反应物及其浓度等。  化学气相沉积技术的主要特点包括:设备及工艺简单、操作维护方便、灵活性强;适合在各种形状复杂的部件上沉积薄膜:由于设备简单,薄膜制备的成本也比较低。但是,薄膜的表面形貌很大程度上受到化学反应特性以及能量撒活方式的影响。  5喷雾热分解法:  喷雾热分解法是化学法成膜的一种,其过程与APCVD法比较相似。它是将前驱体溶液在高压载气的作用下雾化,然后输送到基片表面,在高温作用下,前驱体溶液发生一系列复杂的化学反应,在基片表面上得到需要的薄膜材料。而反应副产物一般是通过气相形式排出反应腔。常用的高压载气主要有:压缩空气、氮气、氩气等等。但是由于压缩空气中常含有大量的水蒸气,所以用氮气作为载气的情形比较多。如果需要在基片表面上发生分解反应,基片温度一般在300℃以上,在玻璃上制备FTO薄膜的基片温度一般为500℃。影响最终薄膜性能的喷涂参数有:载气压力、前驱体溶液流量、基片温度、喷口与基片的距离、喷枪移动速度等等[2]。在成膜过程中基材的温度、液体的流速、压缩气体的压力以及喷嘴到基材的距离等参数均可实现精确控制[3]。  3 FTO透明导电玻璃的研究现状、应用及发展趋势  1FTO透明导电玻璃的研究现状  自1907年Badeker首次报道了热氧化溅射的Cd薄膜生成半透明导电的CdO薄膜,引发了对透明导电氧化物(TCO)薄膜的研究。1950年前后出现了硬度高,化学稳定性好的SnO2基薄膜及综合光电性能优良的In2O3基薄膜,ZnO基薄膜的研究始于2O世纪80年代 。目前研究和应用较多的TCO薄膜主要有SnO2、In2O3。和ZnO基三大体系,其中以In203:Sn(ITO),SnO2 :F(FTO)和ZnO:Al(ZAO)最具代表性,这些薄膜具有高载流子浓度(1018~1021cm-3)和低电阻率(10-3~1O-4Ω•cm),且可见光透射率8O%~90%,使这些薄膜已被广泛应用于平面显示、建筑和太阳光伏能源系统中。[4] 已经商业化应用的TCO薄膜主要是In2O3Sn(ITO)和SnO2:F(FTO)2类,ITO由于其透明性好,电阻率低,易刻蚀和易低温制备等优点,一直是显示器领域中的首选TCO薄膜。FTO薄膜由于其化学稳定性好,生产设备简单,生产成本低等优点在节能视窗等建筑用大面积TCO薄膜中,具有很大的优势[5]。  Sn02:F(FTO)掺杂体系是一种n型半导体材料,表现出优良的电学和光学性能,并且耐腐蚀,耐高温,成本低,化学稳定性好,是现在研究较多,应用范围较广的一类TCO薄膜。苗莉等[6]采用喷雾热解法,以NH4F、SnCl2•2H20为原料,在普通玻璃衬底上制备出了方块电阻最低达到2Ω/口,可见光透光率为95%的FTO薄膜,且薄膜晶粒均匀,表面形貌平整致密。Yadav等[7]采用喷雾热解法,制备了不同厚度的FTO薄膜,最低电阻率达到91 X 10-4 Ω•cm。Moholkar等[8]采用喷雾热解法,制备了不同掺F浓度的FTO薄膜,研究了氟的掺杂浓度对Sn02薄膜的光学,结构和电学性能的影响。中国科学院等离子体物理研究所的戴松元小组[9、10]将FTO用于染料敏化太阳电池的透明电极,并获得较高的光电转换效率。  射频溅射:  射频溅射的基本原理是射频辉光放电。国内外射频溅射普遍选用的射频电源频率为13.56MHz,以防止射频信号与无线电信号的相互干扰。通常直流溅射的基本过程是,从阴极发出的电子,经过电场的加速后获得足够的能量,可以使气氛气体发生电离。正离子在电场作用下撞击阴极表面,溅射出阴极表面的原子、分子到衬底表面发生吸附、凝聚,最终成膜。  直流溅射不能用于绝缘体材料的薄膜制备,因为绝缘材料在受到正离子轰击时,靶材表面的正离子无法中和,使靶表面的电位逐渐升高,导致阴极靶与阳极问的电场减小,当靶表面电位上升到一定程度时,可以使气体无法电离,溅射无法进行。而射频溅射适合于任何一种类型的阻抗耦合,电极和靶材并不需要是导体,射频溅射非常适合于制备半导体、绝缘体等高熔点材料的薄膜。在靶材表面施加射频电压,当溅射处于上半周时,由于电子的质量比离子的质量小很多,故其迁移率很高,用很短时间就可以飞向靶面,中和其表面积累的正电荷,从而实现对绝缘材料的溅射,并且在靶表面又迅速积累起了大量的电子,使其表面因空间电荷而呈现负电位,导致在射频溅射正半周期,也可吸引离子轰击靶材。从而实现了在电压正、负半周期,均可溅射。磁场的作用是将电子与高密度等离子体束缚在靶材表面,可以提高溅射速度。[11]  用JPGF一450型射频磁控溅射系统在玻璃衬底上制备SnO2:F薄膜,系统的本底真空度为10-3Pa.溅射所用陶瓷靶是由纯度为99%SnO2和NH4F,粉末经混合、球磨后压制成坯,再经1300℃烧结而成,靶中NH4F的重量比是78%,用纯度为99.99% 的氩气和氧气作为工作气体,由可控阀门分别控制气体的流量。溅射过程中,控制真空室内氩气压强为1Pa,氧分压为5—5 Pa,靶与衬底间的距离为5cm.溅射功率为150W,溅射时间为25 min,衬底温度为100℃。用RIGAKU D/MAX—yA型x射线衍射(XRD)仪(CuKa辐射波长,154178 nm)测试样品的结构,用APHM一0190型原子力显微镜(AFM)观测样品的表面形貌,使用 rv一1900型紫外可见光分光光度计测量样品的吸收谱,使用激发源为325 nm的He—Cd激光器的光谱仪测量样品的室温光致发光谱,使用普通的万电表测试它的导电性(前提是尽量保持测量条件的一致性)。  2FTO透明导电玻璃的应用  FTO透明导电玻璃具有优良的光电性能,被广泛用于太阳能电池的窗口材料、低损耗光波导电材料及各种显示器和非晶硅太阳能电池中作为透明玻璃电极等,与生活息息相关。  1在薄膜太阳电池上的应用  太阳能电池是利用光伏效应,在半导体p-n结直接将太阳光的辐射能转化成电能的一种光电器件。TCO薄膜是太阳电池关键材料之一,可作为染料敏化太阳电池(dye-sensitized solar cells,DSCS)[12]等的透明电极,对它的要求是:具有低电阻率(方块电阻Rsh约为15Ω/□);高阳光辐射透过率,即吸收率与反射率要尽可能低;化学和力学稳定性好的特点。在薄膜太阳电池中,透明导电膜充当电极,具有太阳能直接透射到作用区域几乎不衰减、形成p-n结温度较低、低接触电阻、可同时作为防反射薄膜等优点。  2在显示器上的应用  显示器件能将外界事物的光、声、电等信息,经过变换处理,以图像、图形、数码、字符等适当形式加以显示。显示技术的发展方向是平板化。在众多平板显示器中,薄膜电致发光显示由于其主动发光、全固体化、耐冲击、视角大、适用温度宽、工序简单等优点,引起广泛关注,并发展迅速。FTO薄膜具有可见光透过率高、电阻率低、较好的耐蚀性和化学稳定性,因此被广泛用作平板显示器的透明电极。  3在气敏元件上的应用  气体传感器是把气体的物理、化学性质变换成易处理的光、电、磁等信号的转换元件。半导体气体传感器是采用金属氧化物或金属半导体氧化物材料做成的元件,与气体相互作用时产生表面吸附或反应,引起以载流子运动为特征的电导率或伏安特性或表面电位变化。二氧化锡薄膜气敏器件具有灵敏度高、响应速度和恢复速度快、功耗低等特点,更重要的是容易集成。随着微电子技术的发展,传感器不断向智能化、微型化方向发展。[13]  4在建筑幕墙玻璃及透明视窗上的应用  喷雾热解法制各的FTO薄膜能用于阳光节能玻璃,对可见光高透射,但对红外光高反射,其反射率大于70%。让阳光中可见光部分透过,而红外部分和远红外反射。阳光中的可见光部分对室内采光是必需的,但可将红外部分的热能辐射反射回去,能有效调节太阳光的入射和反射。利用FTO薄膜在可见光区的高透射性和对红外光的高反射性,可作为玻璃的防雾和防冰霜薄膜。  3 FTO透明导电玻璃的发展趋势  随着LCD的商品化、彩色化、大型化和TFT的驱动或太阳能电池的能量转变效率的提高,人们对透明导电氧化物(TCO)薄膜的要求越来越严格,至少需要满足如下条件:  (1)导电性能好,电阻率较低;  (2)可见光内透光率较高:  (3)镀膜温度更接近室温,能大面积均匀地镀膜;  (4)膜层加工性能好,可以进行高精度低损伤腐蚀;  (5)热稳定性及耐酸、碱性优良,硬度高;  (6)表面形状良好,没有针孔;  (7)价格较低,可实现大规模工业化生产。  目前,TCO薄膜已普遍达到下列水平:膜厚为500 nm的情况下电阻率在10-4 Ω•cm数量级,在可见光区透光率达80%,载流子迁移率一般达到40cm2/(v•s)。虽然TCO薄膜的性能指标可以满足当前应用需要,但随着器件性能的不断提升,对TCO薄膜提出了更高的性能要求。一些学者提出了TCO薄膜发展的一个量化的前景指标:禁带宽度>3 eV,直流电阻率~5×10-5 Ω•cm,可见光段在自由电子作用下的吸收系数<2x103 cm-1,载流子迁移率>100 cm2/(v•s)。  几十年来,人们一直在努力提高透明导电薄膜的透明性和导电性。SnO2:F(TFO)透明导电薄膜由于其兼备低电阻,高的可见光透过率,近红外高的反射率,优良的膜强度和化学稳定性等优点,越来越受到人们的青睐,必将在平板显示器件、建筑物玻璃和气敏传感器等众多领域中得到更广泛的应用。利用溅射法制备FTO透明导电玻璃它的生产工艺简单,操作方便,利于控制。成本较低,原料易得,但在制备过程中NH4F加热分解放出有污染的氮氧化物和氨烟,这对以后商业化生产造成了很大的制约。所以对原料的改进和污染的控制方面还有待开发。  4 制备条件对膜结构及光电性能的影响  长安大学材料科学与工程学院段理等做了磁控溅射制备银掺杂ZnO薄膜结构及光电性质研究实验,发表了文献[14],并在文献14中得出了1——3的结论。  1制备条件对膜厚的影响  文献中采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜,当薄膜淀积时间从30rain延长到90min时,薄膜的厚度几乎按照线性关系从约270nm增加到820nm,即薄膜的淀积速率大致稳定在9nm/min左右,为匀速生长。溅射功率与膜厚呈线性增长,及沉淀速率与溅射功率大致呈线性关系。  2制备条件对膜结构的影响  晶体质量随溅射功率的增大而降低,随溅射气压的增大而降低。  3制备条件对膜光电性质的影响  在固定溅射总气压的条件下,增大氧分压可以增强薄膜的紫外发光强度,增大薄膜的载流子浓度。  4 退火对薄膜的影响  退火能显著提高薄膜晶体质量,并增强薄膜的PL发光强度和导电能力,其原因是退火能使银离子完成对锌离子的替代从而形成受主。[15]  5 退火后处理对膜结构与成分的影响  光敏薄膜的光电、形貌性能与退火处理密切相关,退火处理优化了薄膜表面形貌、减小了光学能隙、增大了薄膜的导电率和载流子迁移率。光敏薄膜性能的优化,有利于增大聚合物太阳电池的填充因子、开路电压和短路电流,对于提高其能量转换效率、改善器件光伏性能具有非常重要的意义。[16]分别对较低氧分压反应磁控溅射制备的 薄膜进行氧化性气氛和惰性气氛退火。通过XRD和SEM 分析,发现氧化性气氛退火薄膜为表面多孔的金红石结构 ,而惰性气氛退火薄膜表面较为致密,结构分析不仅观察到金红石结构的 ,还发现了四方结构的 。XPS表面分析进一步表明,氧化性气氛退火后,薄膜成分单一,未氧化的 完全氧化成稳定的 ,而且具有稳定结构的 薄膜表面吸附水很少。相对而言,惰性气氛退火后,薄膜表面 、 和 共存,表面化学吸附氧和吸附水较明显,薄膜的稳定性降低。[17]  6 FTO导电玻璃制备相关参数  根据范志新等所提出的理论表达式: 带入相关数据可得到,SnO2:F(FTO)的最佳掺杂含量为54%[18]通过对比总结,参考大量数据,选择溅射功率:100W,溅射压力:5Pa,溅射时间:5h,溅射靶距:38mm[13、19]做产品。进行相关参数的选择与优化。  7 参考文献  1、张志海, 热解法制备氟掺杂二氧化锡导电薄膜及其性能研究 合肥工业大学  2、汪振东, 玻璃基TiO<,2>-SiO<,2>/SnO<,2>:F薄膜的喷雾热分解法制备和表征 武汉理工大学  3、郝喜红, 喷雾热解法制备掺杂二氧化锡导电薄膜 西安建筑科技大学  4、张明福等, 透明导电氧化物薄膜研究的新进展 压电与声光  5、方俊 杨万莉, n型透明导电氧化物薄膜的研究新进展 陶瓷  6、苗莉等, SnO2:F导电薄膜的制备方法和性能表征 材料导报  7、Yadav A A,Masumdar E U,Moholkar A V,et a1.Effect of quantity of spraying solution on the properties of spray deposited fluorine doped tin oxide thin films[J].Physiea B:Condensed Matter,2009,404(12—13):1874 - 1877.  8、Moholkar A V,Pawar S M,Rajpure K Y,et a1.Effect of fluorine doping on highly transparent conductive spray deposited nanocrystalline tin oxide thin films[J].Applied Surface Science,2009,255(23):9358—9364.  9、Dai S,Wang K,Weng J,et a1.Design of DSC panel with efficiency more than 6%[J1.Solar Energy Materials and Solar Ceils,2005,85(3):447—455.  10、Huo Z,Dai S,Wang K,et a1.Nanocomposite gel electrolyte with large enhanced charge transport properties of an 13-/I- redox couple for quasi-solid-state dye-sensitized solar cells[J].Solar Energy Materials and Solar Cells,2007,91(20):1959-1965.  11、王璟和,射频溅射法制备透明导电陶瓷薄膜 天津大学  12、姜磊等, 染料敏化太阳电池研究进展 内蒙古大学学报(自然科学版)  13、曾志峰等, 射频溅射法制备掺杂SnO2纳米薄膜的研究 武汉大学学报(理学版)  14、段理、樊小勇等, 磁控溅射制备银掺杂 薄膜结构及光电性质研究 材料导报(研究篇)  15、SunLL,TanO K,ZhuW G,et a1.Pb(Zro 3Ti0. 7)03/Pb-TiO3 multilayer thin films for pyroelectric infrared sensorapplication[J].J Appl Phys,2006,99(9):09410  16、顾锦华、钟志有等, 真空退火处理对光敏薄膜及聚合物太阳电池性能的影响 中南民族大学学报(自然科学版)  17、王磊、杜军等, 退火气氛对SnO2薄膜结构与成分的影响 材料导报  18、范志新等, 二氧化锡薄膜的最佳掺杂含量理论表达式 电子器件  19、刘庆业等, 射频溅射法研制SnO2纳米薄膜 广西师范大学学报(自然科学版)

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